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開發(fā)腳本的指導(dǎo)方針:圖像獲取

 發(fā)布時間:2018/7/4 點擊量:1811
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詳細介紹:

腳本是幫助掃描電鏡(SEM)操作員日常工作的小型軟件工具。它可以用來自動完成重復(fù)性的任務(wù),快速掃描大面積區(qū)域,或者在測量時獲得更高的重復(fù)性。要做到這一點,必須開發(fā)一個軟件腳本。在這篇博客中,我們將指導(dǎo)如何開發(fā)一個小腳本。

 

掃描電鏡工作流程

 

通常,掃描電鏡(SEM)的工作流程包括以下步驟:

 

1. 樣品制備和裝載。
2. 圖像采集
3. 分析
4. 評估
5. 報告
6. 結(jié)論

 

工作流程如圖1所示。步驟1到4可以使用腳本自動執(zhí)行。在我們之前的博客中已經(jīng)講解了樣品制備技術(shù),以及濺射涂層如何幫助掃描電鏡(SEM)成像。

 

圖像采集,步驟1,主要是自我描述性的,并且涉及到獲得高質(zhì)量圖像所*的所有步驟。首先將樣品移到顯微鏡下的正確位置,并設(shè)置圖像參數(shù)。通過獲取和保存圖像完成任務(wù)。

 

圖像分析涉及圖像的處理,從圖像中獲取物理量。例如:

 

1. 設(shè)置背散射(BSD)圖像閾值,以量化圖像中的成分差異。
2. 分割圖像以找到粒子
3. 測量工作距離,以檢測樣品的高度

 

圖1:掃描電鏡工作流程

 

在評估步驟中,對物理量進行評價和分類??梢酝ㄟ^以下方式完成:

 

1. 根據(jù)粒子的形態(tài)學計數(shù)粒子
2. 確定樣品的覆蓋范圍
3. 計算樣品上的缺陷數(shù)量

 

在報告步驟中,報告自動包含所有相關(guān)信息,以作出明智的決定。該報告可能是:

 

1. 獲得的掃描電鏡圖像的有用信息
2. 直方圖顯示了樣品信息,例如覆蓋率或大小分布
3. 完整的PDF報告,包括表格、圖表和圖片

 

如果腳本是有效的,那么所有這些步驟都可以通過單擊一個按鈕來完成,并且在獲取和處理過程完成后,會出現(xiàn)一個報告。操作員只需檢查報告并決定合適的操作。

 

在這篇博客中,我們將關(guān)注腳本開發(fā)的步,并解釋如何地獲取圖像,以及如何使用合適的參數(shù)。在以后的博客中,我們將詳細探討其他步驟。

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